1、拆卸及清洗
第一步，拆卸三角皮帶，拆卸泵進出口管道和伴熱蒸汽管線、氮氣管線;拆卸地腳螺栓，把真空泵移到檢修平臺;
第二步，打開泵頂部各級蓋板，用塞尺從上蓋板處插人測量轉子和各級隔板的前后間隙，做好記錄;
最后，在真空泵上部的整個平面位置用記號筆，做好明顯標記以免恢復時出錯;標記清楚主動轉子和從動轉子的前后方位;拆卸真空泵的泵體連接螺栓，逐級從尾端拆卸，同時測量和記錄各級隔板之間的紙墊厚度，直到完全解體。用酒精清洗干凈真空泵各部件，結垢的部分可用紗紙清理;轉子墻板和隔板拉毛的部分用銼刀修理平整，拋光機打磨光潔。
2、安裝步驟
準備好需要更換的新轉子、滾動軸承、油封、機械密封、調整紙墊;把前后軸承箱墻板上的油封更換好備用。
(1)用長方形框架固定檢修平臺上，把一級轉子的前端隔板放在上面，按照標記放入主動和從動轉子，逐級安裝泵殼、隔板、級間密封環、調整紙墊以及四角處的圓柱定位銷，注意調整紙墊的厚度需要和拆卸時的記錄一致，擰緊泵體緊固螺栓。
(2)泵體平放檢修臺，安裝兩端隔板處轉子的節流環;安裝軸承箱內墻板;安裝軸承座及軸承。
(3)用塞尺檢查各級轉子和隔板的前后間隙，要求其符合真空泵的檢修手冊間隙數據，一般是保證轉子和前后隔板的間隙大于所要求的最小值，調整范圍在0~+0.10mm。
(4)預裝同步齒輪:安裝鎖緊有鍵槽的同步齒輪，有圓錐的同步齒輪先用手輕輕壓緊即可。
(5)肥兩轉子角度調整為交叉90°，用塞尺插人第二級兩轉子之間，固定長軸垂直的轉子;用手輕輕盤車另一個轉子，感覺松緊前后相當，再把鎖緊螺母擰緊在圓錐同步齒輪上;再手動盤車應無卡死現象。
(6)用塞尺檢查各級轉子間的間隙，在兩轉子與水平線成±45°位置要作檢查;D為兩轉子的總間隙，一般要求轉子在-45°時為D/3，轉子在+45°時間隙為2D/3。
(7)安裝前后軸承箱后蓋板及油封、機械密封，安裝后端冷卻水箱，安裝皮帶輪;
(8)羅茨真空泵安裝回原設備基礎，緊固地腳螺栓，調整三角皮帶松緊度，恢復進出口管道連接。
(9)加潤滑油，檢查密封情況，準備試車。
當油泵電機不能進行正常維護和長期使用不當時，便容易發生火災。欲防止油泵電機發生火災，首先應該了解引起油泵電機火災的隱患。就油泵電機本身而言，油泵電機著火的原因你知道有哪些嗎？
一、油泵電機著火的原因
1、內部短路：當繞組受潮、絕緣老化、過電壓擊穿及機械損傷等時，會致使絕緣破裂損壞，造成相間、匝間或對地短路，使油泵電機溫度急劇上升，乃至“打火”放電，引起火災。
2、缺相運行：三相異步油泵電機缺相運行時，若是在額定負載下，其電流增大為額定值的1.73倍；若在堵轉狀態下啟動油泵電機的啟動電流是額定值的4~7倍。上述時間過長，繞組均會因過熱而燒毀起火。
3、頻繁啟動：每次油泵電機啟動時都要承受堵轉電流的沖擊，若在短時間內連續多次啟動，則繞組由于溫度急劇升高而燃燒著火。
4、接觸不良：當油泵電機的內部及外部接線松動，導致接觸不良時，接觸電阻增大，致使接頭過熱，甚至“打火”放電，引起繞組絕緣及四周可燃物體燃燒。
5、鐵芯短路：油泵電機鐵芯因質量不佳或制造工藝的緣故，鐵芯短路，渦流損耗顯著增大導致鐵芯過熱，而使油泵電機著火。
6、機械性堵轉：當油泵電機安裝不良或有異物進入時，以及軸承潤滑油不足或潤滑油臟污而將轉子卡住，或所拖動的機械被卡住，致使油泵電機的電流急劇增大，造成繞組溫升過高而著火。
7、散熱不良或環境溫度過高：當油泵電機的外風扇未安裝或損壞，或環境溫度超過40℃時，均會使油泵電機嚴重過熱而造成繞組燃燒。
8、嚴重過載：當液壓電機嚴重過載或長時間超載運行，或將斷續工作制的油泵電機用于連續工作，均會因高溫過熱而導致繞組絕緣燃燒。
9、維護不良：當沒有做好油泵電機的日常維護，發現問題不及時處理而是聽之任之，如粉塵、雜物將通風槽堵塞，接頭處臟污松動或異物落入油泵電機內等，不能及時清理干凈，將影響油泵電機正常影響而造成繞組過熱著火。
二、為防止油泵電機火災，應做到以下幾點
1、為符合防潮、防腐、防塵及防爆等要求，應根據工作環境不同，選擇型號相適宜的油泵電機。
2、油泵電機及其啟動裝置應與可燃物體保持適當距離。油泵電機周圍不得堆放雜物。
3、每臺油泵電機應裝設獨立的操作開關及適宜的保護裝置。
4、為防止機械損傷，電纜接入油泵電機要套有保護管，引入電纜接頭或電纜套管應直接接入油泵電機的接線盒。
5、長期閑置未用的油泵電機，在使用前應測其繞組的絕緣電阻，絕緣電阻值應大于0.5MΩ。
6、對運行中的油泵電機，要做好日常檢查及維護工作，發現問題及時處理。應經常檢查電源電壓，其波動要小于+10%或-5%，電壓不平衡度應小于±5%，電流不平衡度應小于10%，溫升也不能超過規定值。
所以，當油泵電機發生火災時，應立即切斷電源。對于旋轉油泵電機，滅火時應防止軸及軸承變形。滅火時不能使用干粉、砂子、泥土和水等，只能使用二氧化碳、四氯化碳、滅火器及蒸汽等，以防雜質、硬物和水落入油泵電機內部，損壞絕緣及軸承，導致后果更嚴重。
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